2003年第3期

指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级被微电子洁净厂房有关的分级标准，并对某0.1μ1级洁净厂房作了实际测试，给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器。