2006年第2期

随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小，气态分子污染物（AMC）对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义，重点阐述了AMC的监测技术。