2004年第2期

微电子、光电子产业时国民经济和科学技术的基础，发展迅速，更新换代快，对环境要求严格，初投资高、运行费大、要求安全、可靠、灵活，对这牙关那的洁净厂房，本文提出一些行之有效的方法，供设计参考。