SMIF/微环境中数值模拟气流的研究

2012年02月28 00:00:00 来源：中国空调制冷网

SMIF/微环境是应IC产品集成不断提高而发展起来的新技术。由于其工艺复杂，造价昂贵，所以在设计时有必要对其运行性能加以预测。本文运用CFD技术预测其内部气流场，为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据。

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