【中文关键词】 空气传播分子污染物; 污染源头; 根除控制; 实时监控;
【英文关键词】 Airborne Molecular Contaminant; Contaminant Source; deracinate for a cortol; real time monitoring;
【中文摘要】 通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例,探讨关于AMC控制的具体内容,了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计理念。
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