2001年第2期

以0.5μm技术之需而设的一套超纯水系统为实例，介绍其工艺流程及其特点，给出各项水质参数的实测数据，进而述评≤0.25μm/8,,线的水质评价项目及其限定值、分析手段和在线检测仪表。