2002年第3期

紫外线杀菌装置在电子高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论，并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。