洁净室流场数值模拟的研究进展

对洁净室的应用和发展进行了回顾,分析了洁净室的流场,介绍了数值模拟方面常用的几种模型及国内外在洁净室模拟方面取得的成果,列举了常用的cfd软件,分析了国内研究所存在的问题。

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