2008年2期

摘 要：集成电路的工业废气有含氟化物、硫酸雾的酸性废气，含氨的碱性废气，含异丙醇、光刻胶的有机废气，含SiO2的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是有毒有害的，必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。