影响SMIF微环境中气流状态因素的探讨

梁家富 徐玉党

华中科技大学建筑环境与设备工程系,武汉470073

摘要:

在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒，并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离。本文主要论述气流对微粒运动的影响，在微环境SMIF系统中的气流状况，以及影响微环境中的气流因素进行分析。

关键词:

SMIF 气流状况 微环境 洁净技术

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