通过室内得粉尘浓度,即重视清净度得LCD制造工厂为研究场所,使用垂直层流方式得产业用洁净室内进行现场实测与数据分析,得出结论:第一,证明现有得现场条件与洁净室得环境数据分析结果相同;第二,找出给气流变化重大影响的因素,掌握他们的特性;第三,为保持最适用的洁净室,对气流变化的预测提供基础资料。

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