2002年第2期

现代半导体洁净室中，生产过程所产生的有机挥发物（VOC）已成为影响产品品质关键问题之一。本文对洁净室里VOC的来源进行了分析，并对人体和洁净室结构材料产生的VOC的特性和测量方法进行了讨论。