微型气体传感器在美研制成功

据悉，一种使用碳纳米管开发出的微型气体传感器，日前在美国，由美国伦斯勒工业学院材料科学工学系与机械工学系的联合研究小组研制成功，能够非常灵敏地定量及定性分析大气中的各种气体。

该传感器结构非常简洁。制作方法是：首先利用化学气相沉积法（CVD）在二氧化硅底板上生成多层碳纳米管（MWCNT）。主要以去年开发的方法为基础。MWCNT的直径约25～30纳米，长约30微米，各MWCNT分别以大约50纳米的间隔排列。在MWCNT两端加上厚约180微米的绝缘玻璃板，然后再用铝膜覆盖起来，气体传感器即告完成。传感器尺寸为：宽约20毫米，长约20毫米，厚约700微米。

利用气体传感器测定周围的气体成分时，以MWCNT端为阳极（+），铝膜端为阴极（-），施加直流电压。在MWCNT顶端，很低的电压就会产生强电场，从而在周围离子化气体中发生介质击穿（Dielectric Breakdown）现象。试验结果显示，发生介质击穿时的电压因气体种类的不同而明显不同，可以进行定性分析。可分析的气体种类范围很广，甚至还能适用于氩气和氦气等惰性气体。另外，介质击穿电压尽管不取决于气体浓度，但已经知道的是所产生的电流值与浓度对数呈正比，表明能够进行气体的定量分析。

--中国空调制冷网 小新 摘自泵阀交易网