1999年第1期

细微技术的发展不仅使生产工艺和设备，而且也使生产的环境变得越来越重要。它促使了洁净室技术在过去的十年中取得了巨大的成就。为此本文介绍了微电子洁净厂房暖通空调设计的新概念、主要的技术数据以及有关洁净室系统和工艺设施系统的最新资料。