分析了大规模半导体器件生产厂房通风及空调系统的特点,并以某工程为例,说明该类厂房能耗大的现状,从设计计算和运行管理的角度分析了这一不合理现状的原因,指出该类厂房应用变频技术,按照生产和非生产工况,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制,达到节能的目的。

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