本文以典型上送双侧下回洁净室为研究对象,建立相应数学模型,利用计算机进行数值模拟分析,总结出对洁净室进行有效数值模拟的方法及不同面积送风口对洁净室流场及浓度场的影响,为扩大主流区的构思提供论据。
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本文以典型上送双侧下回洁净室为研究对象,建立相应数学模型,利用计算机进行数值模拟分析,总结出对洁净室进行有效数值模拟的方法及不同面积送风口对洁净室流场及浓度场的影响,为扩大主流区的构思提供论据。
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